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（一) 潔凈室的定義　　

潔凈室是指空氣潔凈度達到規定級別的可供人活動的空間。是指將一定空間范圍內之空氣中的微粒子、有害空氣、細菌等之污染物排除，并將室內之溫度、潔凈度、室內壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控制在某一需求范圍內，而所給予特別設計之房間。即是不論外在之空氣條件如何變化，其室內均能俱有維持原先所設定要求之潔凈度、溫濕度及壓力等性能之特性。是集建筑裝飾（與大氣相對隔斷的密閉裝修）、凈化空調、純水、純氣、動力電、照明電、工藝管道等多種專業技術于一體的產物，潔凈室（或潔凈廠房）。

(二) 潔凈室的分類實現層流的低風速值

2.1按用途分類(可分為兩大類)　

①工業潔凈室-以無生命微粒的控制為對象。主要控制空氣塵埃微粒對工作對象的污染，內部一般保持正壓狀態。它適用于精密機械工業、電子工業（半導體、集成電路等）宇航工業、高純度化學工業、原子能工業、光磁產品工業（光盤、膠片、磁帶生產）LCD（液晶玻璃）、電腦硬盤、電腦磁頭生產等多行業。　

②生物潔凈室：以控制有生命微粒（細菌）與無生命微粒（塵埃）對工作對象的污染。又可分為：　

A.一般生物潔凈室，主要控制微生物（細菌）對象的污染。同時其內部材料要能經受各種滅菌劑侵蝕，內部一般保持正壓。實質上其內部材料要能經受各種滅菌處理的工業潔凈室。

B.生物學安全潔凈室：主要控制工作對象的有生命微粒對外界和人的污染。內部要保持與大氣的負壓。　　　

2.2按氣流分類(按氣流可分為四類)　　

①.單向流潔凈室（層流、活塞流）　　

②.亂流凈室　　

③.輻射流（斜流）潔凈室　　

④.復合式潔凈室（亂流、層流同在）　

(三) 單向流(層流)潔凈室(又稱垂直流，平行流)　　

房間天花板完全以ULPA過濾器覆蓋，空氣由上往下吹，可得較高之潔凈度，在制程中或工作人員所產生的塵埃可快速排出室外而不會影響其它工作區域。

優點：管理容易，運轉開始短時間內即可達穩定狀態，不易為作業狀態或作業人員所影響。

缺點：構造費用較高，彈性運用空間困難，天花板之吊架相當占空間，維修更換過濾器較麻煩。

(四) 亂流潔凈室的原理和特性　　

1、定義：亂流潔凈室的定義是氣流以不均勻的速度是不平行流動，伴有回流或渦流的潔凈室。　　

2、原理：亂流潔凈室靠送風氣流不斷稀釋室內空氣，把室內污染逐漸排出，來實殃潔凈的（亂流潔凈室一般設計在千級以上至30萬級凈化級別）。

3、特性：亂流潔凈室是靠多次換氣來實現潔凈級別。換氣次數決定定義無反顧的凈化級別（換氣次數越多，凈化級別越高）。

4、優點：構造簡單、系統建造成本，潔凈室之擴充比較容易，在某些特殊用途場所，可并用無塵工作臺，提高潔凈室等級。

5、缺點：亂流造成的微塵粒子于室內空間飄浮不易排出，易污染制程產品。另外若系統停止運轉再激活，欲達需求之潔凈度，往往須耗時相當長一段時間。　　

(五) 復合式潔凈室

復合式為將亂流式及層流式予以復合或并用，可提供局部超潔凈之空氣。

①潔凈隧道(CleanTunnel)：以HEPA或ULPA過濾器將制程區域或工作區域覆蓋使潔凈度等級提高至10級以上，可節省安裝運轉費用。此型式需將作業人員之工作區與產品和機器維修予以隔離，以避免機器維修時影響了工作及品質，ULSI制程大都采用此種型式。潔凈隧道另有二項優點：彈性擴充容易；維修設備時可在維修區輕易執行。

②潔凈管道(CleanTube)：將產品流程經過的自動生產線包圍并凈化處理，將潔凈度等級提至100級以上。因產品和作業員及發塵環境相互隔離，少量之送風即可得到良好之潔凈度，可節省能源，不需人工的自動化生產線為適宜使用。藥品、食品業界及半導體業界均適用。

③并裝局部潔凈室(CleanSpot)：將潔凈室等級10，000~100，000之亂流潔凈室內之產品制程區的潔凈度等級提高為10~1000級以上，以為生產之用；潔凈工作臺、潔凈工作棚、潔凈風柜即屬此類。另外還有潔凈工作臺和潔凈工作棚等。　

(六)潔凈室的新風要求　　

按《潔凈廠房設計規范》規定，亂流潔凈室新風量應不小于總風量的10%-30%；單向流潔凈室，新風量應不小于總風量的2%-4%，當然也可以根據潔凈室的具體功能而定。